根据氧化锆的特性，其又被称为氧溶差电池。顾名思义在此时我们应将氧探头实际是一个能产生电动势的化学电池，所以我们不能像测量纯电阻那样直接用万用表的电阻档去测量，而应该借助碳控仪的专用功能来测试。如果您使用的碳控仪无此功能或者条件不具备，您也可以自己搭建一个小型电路来测量。

氧化锆实质上是一个化学原电池，可以等效为一个原电动势和内阻的组合。图中虚框内部分为氧化锆等效内电路原理图，R1为内阻，我们按图接好电路。步，我们断开开关，直接测量电路电压，可以得到电压值E；然后和上开关，再次测量电压得到E1，R2为已知电阻，则我们可以根据如下公式计算出内阻。

在测量中应注意，氧探头应在正常工作的情况下（ 750~1000 ）℃，已知电阻R2值是个经验值 , 也可以采用其他数值的电阻，但为了方便计算应采用整数，阻值不应大于 10 K。在现场条件下测量时应断开探头的其他接线，可以用电阻接入和断开来代替开关的操作。