前面介绍到渗碳与淬火作为金属材料常见的热处理工艺，接下来具体聊聊渗碳工艺的基本过程是怎样的。

通常来说，将富化剂（煤油、丙酮、二甲苯、天然气等富含碳原子的物质）和载剂（甲醇等含碳原子易裂解产生含碳气氛的物质）相混合后送入渗碳炉，在炉内650～1100℃之高温下，发生裂解反应，产生渗碳气氛。变成气体以CO、H2、N2，为主成份，内含微量CO2、H2O、CH4，施行渗碳。渗碳时，因所需的渗碳浓度不同，在变成气体内添加适当量的富化剂以便调渗碳浓度。

渗碳工件的材料一般为低碳钢或低碳合金钢(含碳量小于0.25%)。渗碳后﹐钢件表面的化学成分可接近高碳钢。工件渗碳后还要经过淬火﹐以得到高的表面硬度﹑高的耐磨性和疲劳强度﹐并保持心部有低碳钢淬火后的强韧性﹐使工件能承受冲击载荷。渗碳工艺广泛用于飞机﹑汽车和拖拉机等的机械零件﹐如齿轮﹑轴﹑凸轮轴等。

渗碳工艺在中国可以上溯到2000年以前。早是用固体渗碳介质渗碳。液体和气体渗碳是在20世纪出现并得到广泛应用的。美国在20年代开始采用转筒炉进行气体渗碳。30年代﹐连续式气体渗碳炉开始在工业上应用。60年代高温(960～1100℃)气体渗碳得到发展。至70年代﹐才陆续出现了真空渗碳和离子渗碳。

华敏测控热处理炉用氧探头是利用氧化锆陶瓷敏感元件测量渗碳炉内氧浓度。广泛用于渗碳，碳氮共渗和光亮淬火等气氛控制。