世界各地有越来越多的人在以高于3-5%的正常值向工艺气体中添加氨的条件下进行了高氮碳氮共渗的研究。

氨的裂解或离解从来也不会结束 ，废气中总是有一些残余氨。从图8，我们能够看到，渗氮的效果同未离解氨的数量直接相关。这些结果是在稳定条件下（温度、压力和载气通入量）取得的。

不过，我们从图9可以看到，通入炉内的氨和废气中的残余氨之间的关系受渗碳炉实际状态的影响非常大。所以，碳氮共渗工艺的控制一定要基于这个事实，被吸收的氮量（Nad）取决于未离解氨（残余氨）的量而不是通入氨的量。

我们可以通过测量残余氨和氢的含量来控制工艺气氛的渗氮作用，并且通过改变通入氨的流量来控制化学势。

对于气氛的碳势，我们采用与渗碳气氛同样的方法（氧传感器加一氧化碳分析仪或一氧化碳/二氧化碳分析仪）进行控制。不过，我们发现，当温度降低到一定值时（对氮气/甲醇系统<1，616°F/880℃)出现了不平衡问题，碳活度和渗碳反应不符合。

因此，如果未能完全反应的甲烷或丙烷数量很多，应当测量残余甲烷的量，并据此对平衡状态下计算得到的碳势进行修正。

市场上对于渗氮、过程监测有多种方案。华敏测控为热处理基础产业量身打造的激光氮势分析仪就是其中之一，激光对气体的单一选择性，杜绝了其他测量方式在混合炉气中各成分气体互相干扰的困扰，外壁“发射-接收”结构，半开放式光路，从根本上解决富氨炉气导致的管路堵塞、腐蚀、污染等现象对普通传感器的影响。